OYS-1200C-4L防爆CVD管式炉整套设备详情

OYS-1200C-4L防爆CVD管式炉整套设备详情

OYS-1200C-4L为CE认证加长分体防爆型CVD管式炉成套系统，由加热主机、双通道混气供气单元、高真空机组三部分组成，适配氢气、氮气等混合气氛真空沉积、薄膜生长、气相合成实验；整机防爆，电控防爆级别IIBT6、IP54防护，专为有易燃易爆气源使用场景的高校、新材料研发实验室设计，可实现精准控温、精准配气、高真空环境一体化工艺。

一、加热主机核心技术参数

1.                      电气与温度：220V 50/60Hz，额定功率7.1KW；

2.                      短时最高1200℃（≤1h），长期≤1100℃，

3.                      升温≤10℃/min，K型热电偶，控温精度±1℃；

4.                      加热腔体：有效加热区长900mm，标配φ100×1400mm高纯石英管，使用两端加装管堵；

5.                      加热元件：高品质含钼电阻丝；

6.                      尺寸重量：加热炉体1630×510×610mm（约150KG），防爆电控柜600×600×400mm（约80KG）。

二、炉体硬件与防爆安全结构

分体式布局，加热炉、电控柜独立分离，整机采用防爆结构质，防爆电控柜防爆等级IIBT6、防护IP54；双层风冷壳体，高纯氧化铝纤维炉膛，内壁高温涂层，对开翻盖方便更换石英管；炉管外露区域配不锈钢防爆网罩。

法兰配置：标配不锈钢真空密封法兰，进气双卡套结构，出气为多接口三口法兰，预留KF25/KF16真空端口；支持快拆、水冷、观察窗法兰非标定制。

专属防爆安全配件：标配机械泄压阀、两段式氢气声光报警器（高浓度自动切断气源）、氢气自动点火装置（选配加价），炉体加厚壳体提升防爆性能。

三、温控系统

单温区独立YD858温控仪表，PID自整定，支持50段升降温程序，带超温、断偶报警；可选配电脑软件、触摸屏存储导出升温曲线。

四、配套双通道混气供气系统（GYS-2Z）

1. 基础参数：220V、23W，工作温区5~45℃，耐压3×10⁶Pa，流量精度±1.5FS、重复±0.2FS；氢气量程1-100SCCM、氮气1-500SCCM，可定制多通道与大流量规格。

2. 结构配置：触摸屏操控，面板机械压力表，内置φ76混气罐；内部316不锈钢、四氟管路，双卡套截止阀，全部活接头便于检修；整机防爆柜体，可多种气体平稳切换，杜绝空气倒灌。

3. 整机尺寸610×610×710mm，重量约30KG。

五、配套真空机组（JXB-12X）

1. 基础参数：220V、1KW，抽速3L/s，无负载极限真空1.0×10-1Pa，整机漏率5×10-9Pam³/s，可达10-3torr；

2. 配置：KF25真空波纹管、手动高真空挡板阀、LCD电阻真空计、排气油污过滤器；带承重移动台面、制动脚轮，适配管式炉成套配套；外形尺寸610×610×710mm，约110KG。

六、气路真空通用安全规范

1. 炉内气压上限0.02MPa，气瓶须配套0.01~0.1MPa减压阀；进气流量≤200SCCM；

2. 炉温＞1100℃禁止抽真空，管内保持常压；不建议全封闭气阀加热，超压立刻开启泄压阀；

3. 整套设备仅限惰性、氢气等合规气源，严格管控易燃易爆气体，依托整机防爆结构与报警装置保障实验安全。

七、资质与售后质保

核心元器件采用ABB、OMEGA、东明品牌，UL认证材料，整机CE出口认证；整机一年质保，24小时线上技术、终身维护；加热丝、石英管、热电偶、密封件、流量计、真空泵滤芯等耗材，以及腐蚀性气体造成损坏不在保修范围。

八、生产厂家：合肥微元素

整套防爆CVD气相沉积系统由合肥微元素实验室设备有限公司自主成套研发生产，企业覆盖常规管式炉、旋转炉、真空淬火炉、防爆CVD成套设备、各类气氛箱式炉全产品线；可根据通道数量、真空等级、防爆配置、流量量程、加热长度非标定制。售前提供CVD薄膜、气相沉积整套工艺方案，售中整机成套出厂检测，售后上门安装调试、工艺指导、故障检修一站式服务，一站式解决气相沉积、真空混气高温科研实验成套设备需求。