精密液体气相发生器LVD-F01是一款专门针对实验室中CVD实验中导入液体的一套系统，其液体流量是通过一数字液体泵来控制，最大流量为10ml/min。液体被蠕动泵导入到混气系统后，被系统里的加热装置加热成蒸汽，然后随导入的气体被带入到炉管中。LVD-F01能够导出多种液体，还有多种有机物混合。对于研究用CVD方法生长纳米线和薄膜的设备