CVD系统翻盖炉OYS-1200C-4L是一款加长单温区开启式管式炉，其最高温度可以达到1200℃（1200℃<1H）。炉管为高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰，可以在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统，可设置50段升降温程序，控温精度±1℃。

产品型号

CVD系统翻盖炉OYS-1200C-4L

主要产品参数

Ø                      电源：220V  50/60Hz

Ø                      额定功率：7.1 KW

Ø                      最高工作温度：1200℃（＜1 h）

Ø                      连续工作温度：≤1100 ℃

Ø                      推荐升温速率：≤10℃/min

Ø                      加热区长度：加热区长度：900mm

Ø                      热电偶：K型

加热元件

Ø                      高品质含钼电阻丝

炉管尺寸

Ø                      石英管φ100X1400mm 备注：炉子在使用前，炉管两端先放入管堵）

炉体结构

Ø                      采用双层壳体结构并带有风冷系统；

Ø                      炉膛材料采用高纯氧化铝纤维，能减少能量损失；

Ø                      炉膛安装好后，内部也会重新涂有高纯氧化铝涂层提高反射率及设备的加热效率同时也延长了仪器的使用寿命；

Ø                      炉膛为对开式结构，方便更换炉管；

Ø                      炉体两侧石英管裸漏部分需加装不锈钢防爆网罩；

Ø                      分体式结构：加热炉体与电控箱分体；

Ø                      电控柜防爆材料，防爆等级：IIBT6 防护等级:IP54；

Ø                      加热体部分同等级防爆材料；

温控系统

Ø                      包含一款YD858型温度控制器；

Ø                      单个温区有单个独立的温控系统控制；

Ø                      PID控制和自整定调节，

Ø                      智能化50段可编程控制，具有超温和断偶报警功能；

Ø                      控温精度：±1℃

Ø                      可选购电脑温度控制软件（用于YD858系列控制器）用于控制升温曲线和导出数据；

法兰系统

Ø                      标配一对不锈钢密真空法兰和高温硅胶密封圈

Ø                      快捷法兰进气端：内径φ6.35mm双卡套接口+球阀+机械压力表（量程：-0.1MPa-0.15MPa）+法兰底座及端盖；

Ø                      法兰出气端：为三口法兰；法兰底座及端盖+截止阀+外径φ8mm宝塔嘴接口+KF25接口和KF16接口

Ø                      1、如您需要快拆法兰请提前与销售经理确认；2、为了更快的获得较高的真空度，建议使用KF25的不锈钢法兰、不锈钢波纹管和数字式真空显示计

Ø                      本公司支持非标订制各种类型法兰，如水冷法兰、带观察窗口法兰等；

外型尺寸

Ø                      加热体尺寸：L1630mm*W510mm*H610mm

Ø                      电气柜尺寸：L600mm*W600mm*H400mm

Ø                      加热炉体重量：约：150KG

Ø                      电气柜重量：约80KG

安全装置

Ø                      炉管法兰进气端安装密封型机械安全泄压阀；壳体上安装氢气报警器并分两段报警设置，低报声光报警，高报直接通过失电电磁阀切断气瓶进气源；壳体结构加厚处理；

Ø                      另配氢气自动点火装置；

认证标准及核心零部件

Ø                      核心零部件有ABB、OMEGA、东明等 仅使用ABB可以不；（电器元件都是ABB的，有其他配置，如热电偶，壳体配件等用不到ABB）

Ø                      采用ABB电器元件，UL认证材料，出口欧盟的质量认证标准；

供气系统（两路质子混气系统）

Ø                      供气系统 GYS-2Z

Ø                      电源：AC220V  50/60HZ

Ø                      额定功率：23 W

Ø                      流量计范围：氢气1-100SCCM；氮气1-500SCCM;

Ø                      （可选气体标定和量程，不选则默认为N2标定）；

Ø                      有一机械压力表安装在前面板上，与混气管相连接

Ø                      压力表量程:-0.1~0.15MPa

Ø                      混气罐尺寸: φ76*154mm

Ø                      内部连接管道为 1/4″不锈钢管和四氟管

Ø                      外部连接管道为 1/4″四氟管连接气瓶

Ø                      控制阀门为 316 不锈钢双卡套角式穿板截止阀

Ø                      适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多重气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管

Ø                      气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便

Ø                      采用触摸屏来控制气体的流量，显示流量准确，方便操作

Ø                      所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸

Ø                      外形尺寸：长610mm*宽610mm*高710mm

Ø                      重量：约30KG

Ø                      供气系统部分柜体用电控柜同等级防爆材料；

真空系统

Ø                      真空系统JXB-12X

Ø                      电源:AC220V 50/60HZ

Ø                      功率:1KW

Ø                      抽气速率:3L/S，

Ø                      极限真空度:1.0*10-1Pa（不带负载）

Ø                      排气端安装油污过滤器，连接排气管排除污染和不良气体

Ø                      电阻真空计：

Ø                      电源:AC220V 50HZ

Ø                      功率:≤15W

Ø                      测量范围:1.0*10-1Pa~1.0*105Pa

Ø                      有效范围:1.0*100Pa~1.0*104Pa  

Ø                      测量环境:非腐蚀性密封容器

Ø                      测量精度:＜±30%

Ø                      显示方式:LCD数显

Ø                      高真空专用不锈钢阀门，采用氟胶圈密封,KF25卡箍连接

Ø                      连接口:两个KF25接口。

Ø                      配有一个高真空手动真空挡板阀KF25；一个不锈钢真空波纹管KF25*1200mm。

Ø                      漏率达5*10-9Pam3/s。

Ø                      610*610mm的承重台面，可配合微元素管式炉使用，节约空间。

Ø                      极限真空度可达到10-3torr，满足大多数真空实验要求。

Ø                      滚轮上装有制动装置，提高安全性。

Ø                      外形尺寸：长610mm*宽610mm*高710mm

Ø                      重量：约110KG

售后质保

Ø                      质保期一年，终身维护；24小时在线服务

Ø                      耗材部分如加热元件、石英管、刚玉管、热电偶、样品坩埚等不包含在内；

Ø                      因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内；

注意事项

Ø                      炉管内气压不可高于0.02MPa;

Ø                      由于气瓶内部气压较高，所以向管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全；

Ø                      当炉体温度高于1100℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当；

Ø                      进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的气流对热炉管的冲击；

Ø                      对于样品加热的实验，不建议关闭管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）