滑动PECVD系统炉

产品简介

滑动PECVD系统炉的低温高效的特点使其在光伏、半导体、柔性电子等领域不可替代，与传统CVD相比，PECVD的显著优势是可在较低温度下完成高质量薄膜沉积，适用于不耐高温的基材。

产品型号：OYS-1200C-II-60-PECVD

更新时间：2025-12-22

厂商性质：生产厂家

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产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

系统炉

CVD系统管式炉 PECVD系统炉

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品牌	HF.weiyuansu	价格区间	面议
仪器种类	管式炉	产地类别	国产
应用领域	化工,生物产业,钢铁/金属,航空航天,综合

OYS-1200C-II-60-PECVD系统炉是一款中型滑动开启式PECVD系统。此款成套设备配有等离子射频电源，三路质量流量混气系统（量程为1-100SCCM，1-200SCCM，1-200SCCM），直径为60mm的开启式管式炉（带真空法兰和连接管道）及机械泵组成。

滑动PECVD系统炉技术参数
规格型号	Z高温度	加热区长度	加热区长度	额定功率	额定电压	外型尺寸	重量
OYS-1200C-SL	1200℃(＜0.5 h)	Φ251000mm Φ501000mm Φ601000mm Φ801000mm Φ100*1000mm	440mm(单温区)	3.1 KW	AC220V	1680mm490mm700mm	约75KG

●炉体结构：PECVD系统炉采用双层壳体结构，并带有风冷系统，可有效降低壳体表面温度；炉膛采用高纯氧化铝纤维材料，减少能量损失；内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高反射率及设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命，带有过热和断偶保护，开门断电，提高实验安全性；炉子的底部安装有一对滑轨，可使炉子从炉管的一侧滑动到另一侧，以实现快速加热和快速冷却。

●控温系统：包含一款YD858型温度控制器；PID控制和自整定调节，智能化50段可编程控制，具有超温和断偶报警功能；控温精度±1℃；默认DB9 PC通信连接端口；可选购电脑温度控制软件(用于YD858P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据。

●炉管：高纯石英管φ100*1000mm，镀铬钢制成的双滑轨，手动滑轨长度1400mm。

●真空法兰：

　　◎配有一套304不锈钢密封法兰，采用硅胶密封圈密封。

　　◎不锈钢真空法兰安装在炉管的两端，便于组装。

　　◎左端法兰采用1/4英寸的卡套接头，用于通入反应气体。

　　◎一个机械压力表安装在左端法兰上，用于监控管道压力。

　　◎法兰端提供Φ6.35mm卡套进气口，出气端配有独立的Φ9.2mm排气口和球阀，设备预留KF25抽气口和KF16真空计连接口，可连接真空组件。

●真空组件：

　　◎配齐真空泵1台(抽速≥16m³/h，真空度≤5.0X10-1Pa)

　　◎电阻真空计1套

　　◎手动挡板阀1个

　　◎波纹管1根

　　◎油雾过滤器1套

　　◎卡箍(型号：KF25)≥3个，以及相应连接件

●极限真空度：≤1Pa(冷态空载)。

●进气：

　　◎配浮子流量计1套，量程可选，安装在设备上；

　　◎气瓶配备气体减压阀1套。

●标准配件：石英管 ≥1 支，莫来石管堵 ≥1 对，不锈钢法兰 ≥1 套，硅胶密封圈 ≥2 套，高温手套 ≥1 副，炉钩 ≥1 支。

●滑动PECVD系统炉认证标准及核心零部件：整机核心部件均符合CE、UL、MET等认证标准；核心零部件有ABB电器元件，UL认证电线、电缆，欧米茄，宇电、欧陆仪表等。

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